三維微結構測量系統

三維微結構測量系統是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的電子測量儀器，於2012年5月25日啟用。

基本介紹

• 中文名：三維微結構測量系統
• 產地：美國
• 學科領域：工程與技術科學基礎學科
• 啟用日期：2012年5月25日
• 所屬類別：電子測量儀器

技術指標

技術指標：解析度：X、Y方向0.1nm，Z方向0.03nm 最大掃描範圍：90um×90um 樣品尺寸：最大210mm×210mm Rq＜0.03nm X方向誤差＜2% Y方向誤差＜2% Z方向誤差＜2%。

主要功能

功能：一種可用來研究包括絕緣體在內的固體材料表面結構的分析儀器。它通過檢測待測樣品表面和一個微型力敏感元件之間的極微弱的原子間相互作用力來研究物質的表面結構及性質，從而以納米級解析度獲得表面形貌結構信息及表面粗糙度信息。