Probe是探針台。
基本介紹
- 中文名：探針台
- 外文名：prober
- 分類：手動，半自動，全自動
- 用途：半導體行業以及光電行業
Prober 也即探針台
探針台主要套用於半導體行業以及光電行業的測試。
探針台從操作上來區分有：手動，半自動，全自動
從功能上來區分有：高溫探針台，低溫探針台，RF探針台，LCD平板探針台，霍爾效應探針台，表面電阻率探針台，
以上所有種類之分析探針台
經濟手動型
chuck尺寸100mm
X,Y移動行程100mm
chuck Z軸方向升降10mm（選項）
搭配AEC實體顯微鏡
針座擺放個數2～4顆
適用領域：4寸Wafer，如晶圓廠、LED、學術單位等
手動型 PW-800 / PW-600
chuck尺寸800mm/600mm
X,Y電動移動行程200mm/150mm
chuck粗調升降9mm，微調升降16mm
可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡
針座擺放個數6～8顆
顯微鏡X-Y-Z移動範圍2"x2"x2"
可搭配Probe card測試
適用領域：8寸/6寸Wafer、IC測試之產品
電動型
chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不鏽鋼或鍍金）
X,Y電動移動行程300mm x 300mm
chuck粗調升降9mm，微調升降16mm，微調精度土1u
可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡
針座擺放個數8～12顆
顯微鏡X-Y-Z移動範圍2“x2”x2“
材質：花崗岩台面+不鏽鋼
可搭配Probe card測試
適用領域：12寸Wafer、IC測試之產品
LCD半自動探針台
機械手臂取放片
電動、鍵入坐標尋位置
量測尺寸（mm）：1800x1600、1300x1200、1200x1000
LCD手動探針台
白熾燈或者LED整面背光
TFT元件特性、Driver IC量測分析
機台尺寸（mm）：800x600、500x400、300x300
PCB量測探針台
高頻測試探頭GSG / GS / SG
頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ
機台尺寸同LCD 探針台
太陽能產業探針台（Solar Cell 量測系統）
量測軟體:
I-V /C-V Curve, Isc, Voc,
Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,
Power Convert Efficiency
採用KEITHLEY Source Meter
可加配任意品牌之太陽光模擬器
