ZERODUR微晶玻璃，是一種熱膨脹係數極低的微晶玻璃。
最重要的特性如下：近乎於零的熱膨脹以及出色的三維的均勻度
優秀的內部品質良好的加工性能、可被拋光至極高的精確度、良好的可鍍膜性能、低度的化學氦滲透性、無孔、優良的化學穩定性。
基本介紹
- 外文名：Zerodur
- 屬性：微晶玻璃
- 特性：熱膨脹以及三維均勻度
- 套用：天文望遠鏡
套用,特性,
套用
天文學:
30多年來，ZERODUR一直是與地球接連及天體運行軌道天文望遠鏡的主鏡的最佳材質。由於ZERODUR可以被大批生產並具備可再製造的品質，因而適用於未來的20-100米等級的超大型望遠鏡裝置。最現代的技術創造了製造輕量級結構的條件，使得其重量可以減輕65%之多。由於具備出色的零膨脹係數均勻性，ZERODUR成為將來X射線望遠鏡裝置鏡殼的的最理想材料。 微光刻技術為了能夠達到精確的和可再複製晶圓定位，ZERODUR於晶圓光刻機中被用作可移動機械部件。由於ZERODUR具有近乎於零的熱膨脹係數，出色的均勻性以及良好的加工性能使它成為將來反射光學系統的EUV光刻技術的理想的基本片材料。
測量技術:
具極低的熱膨脹以及被證實的長期空間穩定性使ZERODUR成為測量設備中最理想的參考標準。
機械構造:
藉助於現代加工技術，ZERODUR可運用於日益複雜的幾何學。
其它用途:
ZERODUR在光學和紅外線的光譜範圍均有著良好的透射特性以及高度的光學均勻性，由於這點使ZERODUR也被套用於光學系統。
微光刻技術:
為了能夠達到精確的和可再複製晶圓定位，ZERODUR於晶圓光刻機中被用作可移動機械部件。由於 ZERODUR具近乎於零的熱膨脹，出色的均勻性以及良好的加工性能使它成為將來反射光學系統的EUV光刻技術的理想的基本片材料。
特性
熱膨脹係數:
ZERODUR零膨脹微晶玻璃材料可根據客戶的要求，提供片料、棒料及塊料等。並且根據0°C~50°C的線性熱膨
脹係數分為三個等級:
Expansion class 2 0 ±0.10*10-6 K-1
Expansion class 1 0 ±0.05*10-6 K-1
Expansion class 0 0 ±0.02*10-6 K-1
ZERODUR展現出色的線性熱膨脹的均勻性，典型值介於0.01和0.02*10-6 K-1之間。根據要求我們也可供應均勻度< 0.01*10-6的產品。
ZERODUR通常可運用在溫度直至600攝氏度，對於至800度的高溫的套用，我們開發了新型材料ZERODUR K20。這種材料在20° - 700°C溫度膨脹係數為2.0*10-6 K-1，室溫下為1.5*10-6 K-1
內部品質:
以下是尺寸小於500毫米的標準ZERODUR的數據:
平均內含物值 5 / 100 cm3
單個內含物的最大直徑 3.0 (1.4 within the critical volume)
條紋 (雙折射) < 60 nm / striae
體積應力 (雙折射) < 6 nm / cm
其他性質:
密度 2.53 g/cm3
20°C的導熱係數 1.46 W/(m*K)
20°C的熱擴散率 0.72*10-6 m2/s
熱容量 0.8 J/(g*K)
20°C的強性模量 90.3 GPa
橫向變形係數 0.243
努氏硬度 0.1/20 620
