《XUV光學系統的波像差理論及高分辨成像研究》是依託上海大學，由呂麗軍擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：XUV光學系統的波像差理論及高分辨成像研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：呂麗軍
- 依託單位：上海大學
- 批准號：10775095
- 申請代碼：A2801
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2008-01-01 至 2010-12-31
- 支持經費：25（萬元）
中文摘要
真空紫外、軟X射線（XUV）光源在生物、材料、微電子及微加工等領域的研究對能量及空間分辨的要求越來越高；設計並發展高能量分辨的XUV光譜儀、高空間分辨的顯微鏡裝置是開展這些套用研究的關鍵因素。本課題首先套用新的思路和方法，發展一個普遍適用的平面對稱多元件光學系統的波像差理論，為XUV光學系統的設計、最佳化及評價提供理論基礎，克服以往人們主要憑對單元件光學系統的成像經驗來設計多元件系統的不足。在此理論基礎上，發展XUV光學系統的像差衍射理論，為XUV顯微成像系統的研究提供理論分析手段；開展針對XUV光譜儀的能量分辨和顯微系統的空間分辨的相關成像問題的研究，發展它們的評價函式、最佳化設計及數值計算方法。發展XUV光學系統的設計理論、相關設計方法及手段對我國一些大科學裝置，如同步輻射、高溫等離子物理以及空間天文儀器的研究具有重要意義。
