《X光平板探測用非晶硒光電轉換層的製備與性能》是依託清華大學，由李正操擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：X光平板探測用非晶硒光電轉換層的製備與性能
- 依託單位：清華大學
- 項目負責人：李正操
- 項目類別：面上項目
項目摘要,結題摘要,
項目摘要
傳統的X射線透射診斷系統由於體積龐大、價格昂貴、操作煩瑣，加之成像質量較差、輻射劑量較大、拍攝周期長等缺點，已經不適應醫院快速診斷工作的需要。數位化X光平板探測器已經成為國際發展的主要趨勢。由於採用高精度光電轉換技術，在使用時所需X射線輻射劑量更小，圖像解析度更高，動態範圍更大，系統操作簡單、便捷，診斷時間不到傳統方式的20％。本課題擬從薄膜的各種製備參數對於薄膜均勻性、附著力、光電導性能的影響，以及薄膜的其他各項性能如晶化溫度等入手開展幾個方面的研究：（1）合金摻雜元素如氯、砷、碲等對於薄膜晶化、載流子遷移率的影響；（2）薄膜厚度和面積的控制；（3）研究沉積速率、沉積溫度、沉積方式、設備搭建結構等對於薄膜均勻化、結晶化以及附著力的影響；（4）各種製備工藝對於非晶硒薄膜光電轉化性能的影響；（5）探討薄膜的X射線輻照疲勞效應。
結題摘要
隨著生活水平的提高，人們對於醫療健康的需求日益增加，這就使得建設數位化醫療環境變得越來越重要。近年來，許多技術進步，例如越來越強的計算能力，越來越快的寬頻數據傳輸，越來越經濟的數字存儲，都為數字醫療提供了越來越好的條件。 在數字醫療系統中，數字X光平板探測器是套用最廣泛的一種，它能夠提供高品質的X光圖像，並讓醫生能夠在幾秒鐘內獲得醫療影像信息。而要創建一個X光平板探測器，需要製備非晶矽平板像素陣列，同時還需要套用一種X光探測材料，比較典型的，如非晶硒是一種重要的X光平板探測器的光電轉換層材料。 本課題圍繞數字X光平板探測器中核心的材料體系開展了研究工作：利用熱蒸發、電子束蒸發等方法製備了非晶硒、非晶矽薄膜和陣列；研究了各種工藝參數（沉積速率、溫度、方式等）對於薄膜結構和性能的影響；通過摻雜、熱處理和輻照等，研究了薄膜的結構和性能的穩定性。 本項目已經完成了預期的工作目標，並有所拓展。在項目執行期間我們發表了SCI收錄的學術論文18篇，並撰寫了專著1本。參加國際會議18人次，其中大會和邀請報告8次。 本項目執行期間培養的研究生有7人畢業，其中1名博士生就業後開展相關工作的產業化工作，2名碩士生赴國外大學攻讀博士學位，4名碩士生在國家重點行業就業。
