《ULSI低介電常數CNx薄膜製備及其介電性能的研究》是依託大連理工大學,由徐軍擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：ULSI低介電常數CNx薄膜製備及其介電性能的研究
- 依託單位：大連理工大學
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：徐軍
- 批准號：60576022
- 申請代碼：F0406
- 負責人職稱：副教授
- 研究期限：2006-01-01 至 2008-12-31
- 支持經費：25（萬元）
項目摘要
用電漿輔助非平衡磁控濺射技術製備ULSI低介電常數互連介質CNx薄膜;研究製備工藝、電漿狀態與CNx膜化學成分、結構、性能之間的關係。通過薄膜生長過程的電漿線上診斷，最佳化CNx膜及膜-基界面的結構形態，研究CNx膜與Si及Cu等材料的黏附性能；通過真空退火工藝，研究CN膜及界面結構、性能的熱穩定性；利用Si/CNx/Cu結構，表征CNx膜的介電常數、漏電流及擊穿場強等介電性能，研究CNx膜的結構及Si-CNx、CNx-Cu界面對介電性能的影響，為積體電路低介電常數互連介質材料的製備研究奠定理論及工藝基礎。
