《TiO2納米層殼結構薄膜氧感測器》採用納米TiO2球殼薄膜作為敏感薄膜利用Si/TiO2異質結構的優良電學特性設計pn結襯底電極TiO2氧感測器。製備完成的TiO2納米球殼直徑在250nm左右，結構完整。能夠滿足提高被測氣體的表面吸附，獲得優良的氣體靈敏度的結構特點。
基本介紹
- 中文名：TiO2納米層殼結構薄膜氧感測器
- 出版社：黑龍江大學出版社
- 頁數：137 頁
- 開本：32 開
- 作者：張輝軍
- 出版日期：2013年11月1日
- 語種：簡體中文
- ISBN：7811296233
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
《TiO2納米層殼結構薄膜氧感測器》討論了採用MEMS技術和CMOS工藝相結合製作的TiO2納米層殼結構薄膜氧感測器，該感測器可利用異質結構電傳輸及納米球殼的納米效應實現O2檢測。
圖書目錄
第1章 氣體感測器研究概述
1.1 半導體氣體感測器簡介
1.2 寬禁帶TiO2納米半導體材料
1.3 國內外TiO2氣體感測器的研究進展
1.4 研究的目的及意義
第2章 薄膜特性分析與Si/TiO2異質結構的能帶
2.1 TiO2的晶格結構
2.2 氧感測器的薄膜敏感原理
2.3 薄膜表面空間電場、有效空間電荷層厚度dx的相關計算（一維近似）
2.4 Si和TiO2中載流子統計分布情況及能帶結構
2.5 Si/TiO2異質結構的能帶圖
第3章 TiO2納米層殼結構薄膜氧感測器結構設計及傳輸機制
3.1 氧感測器的基本結構
3.2 TiO2納米層殼結構薄膜氧感測器製作工藝
3.3 寬禁帶半導體氣體感測器電流傳輸特性與機制
3.4 TiO2納米層殼結構薄膜氧感測器電流傳輸特性與機制
第4章 TiO2納米層殼結構薄膜的製備
4.1 W—TiO2薄膜的製備與分析
4.2 Pt—TiO2薄膜的製備與分析
4.3 TiO2納米球殼的製備與分析
4.4 TiO2納米層殼結構薄膜的TEM與sEM分析
第5章 氧感測器性能的測定與分析
5.1 工作溫度對基準電流的影響
5.2 環境濕度對基準電流的影響
5.3 輸出曲線的測量
5.4 選擇性
5.5 回響一恢復時間
參考文獻
後記
