TF-KSI型多功能圖形發生器，儀器。是製造半導體大規模積體電路所需的製版設備,精度高,技術複雜。中國科學院北京自動化所、長春光機所、北京半導體所、電子工業部4504廠等單位聯合研製,其中長春光機所承擔了光學頭部的研製。該光學頭部成功地採用了雙光路結構,通過程式指... (本文共291字)
