《SON構造製備及其在集成氣壓感測器上的套用》是依託江蘇大學，由郝秀春擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：SON構造製備及其在集成氣壓感測器上的套用
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：郝秀春
- 依託單位：江蘇大學
項目摘要,結題摘要,
項目摘要
單晶矽片上刻蝕出微小溝槽後在非氧環境下高溫加熱，能得到真空腔體和單晶矽膜，這種構造稱為SON（Silicon on nothing）。本項目擬從SON構造的製備入手，解決製作工藝中的一些關鍵問題，將此SON構造的製備方法套用到壓力感測器的開發中，不需氣密性封裝就能製作出絕壓式、差壓式共有的多壓力感測器集成的氣壓感測器晶片系統，實現多範圍、高靈敏度的壓力測量，同時實現絕對壓力和相對壓力，靜態壓力和動態壓力的共測，開闢SON結構在積體電路製作領域以外的套用先例。開發具有自主智慧財產權的氣壓感測器。
結題摘要
單晶矽片上刻蝕出微小溝槽後在非氧環境下高溫加熱，能得到真空腔體和單晶矽膜，這種構造稱為SON（Silicon on nothing）。本項目從SON構造的製備入手，解決製作工藝中的一些關鍵問題，將此SON構造的製備方法套用到壓力感測器的開發中，不需氣密性封裝就能製作出絕壓式、差壓式共有的多壓力感測器集成的氣壓感測器晶片系統，實現多範圍、高靈敏度的壓力測量，同時實現絕對壓力和相對壓力，靜態壓力和動態壓力的共測，開闢SON結構在積體電路製作領域以外的套用先例，開發具有自主智慧財產權的氣壓感測器。該課題在關於SON構造成形機理方面取得一定的創新性成果，並自製SON構造製備裝置，為SON構造製作及基於SON的壓力感測器或其他類型感測器的製作開發具有重要的指導意義和套用價值。
