RTA是將工件加熱到較高溫度,根據材料和工件尺寸採用不同的保溫時間,然後進行快速冷卻,目的是使金屬內部組織達到或接近平衡狀態,獲得良好的工藝性能和使用性能。
基本介紹
- 中文名:快速熱退火
- 外文名:rapid thermal annealing
- 簡稱:RTA
- 目的:使金屬獲得良好的工藝和使用性能
- 套用於:現代半導體產業
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