《RFMEMS理論設計技術》是由東南大學出版社於2005年12月1日出版發行的書籍，該書取材廣泛、內容深刻，是本領域的權威著作。適合微電子技術、微波技術、微機電系統技術領域的高年級本科生、研究生及工程技術人員閱讀。 本書共分15章：內容主要包括：RF MEMS器件的靜態、動態和電磁模型；MEMS開關的製備、封閉、可靠性及功率處理能力；MEMS開關的電路設計；MEMS移相器、變容器、可調諧 振盪器和電感器；可重構的MEMS網路、濾波器、天線和子系統；MEMS電路、稱相器和振盪器的相噪聲分析
基本介紹
- 書名：RFMEMS理論設計技術
- 作者：(美國)雷茨
- ISBN：7564101970
- 頁數：403頁
- 出版社：東南大學出版社
- 出版時間：2005年12月1日
- 叢書名：微納系統系列譯叢
內容簡介,作者簡介,目錄,
內容簡介
本書共分15章：內容主要包括：RF MEMS器件的靜態、動態和電磁模型；MEMS開關的製備、封閉、可靠性及功率處理能力；MEMS開關的電路設計；MEMS移相器、變容器、可調諧 振盪器和電感
器；可重構的MEMS網路、濾波器、天線和子系統；MEMS電路、稱相器和振盪器的相噪聲分析；同時介紹了RF MEMS開關的套用領域、國際RF MEMS 研究進展及未來的發展方向。
本書取材廣泛、內容深刻，是本領域的權威著作。適合微電子技術、微波技術、微機電系統技術領域的高年級本科生、研究生及工程技術人員閱讀。
作者簡介
作者：(美國)雷茨
Gabriel M.Rebeiz於1988年在加州理工學院獲得博士學位。目前擔任密西根大學Ann Arbor分校電氣工程與計算機科學系的教授。他領導一個研究小組，從事RF MEMS、RF-IC電子學、天線和系統的研究，已培養20餘名博士、發表200餘篇論文。
Rebeiz教授擔任了下列公司或機構的顧問：歐洲空間局，Lockheed Martin,Rockwell,Boeing,Samsung,Htachi,Takata等。他是電氣電子工程師協會的會士。由於他在RF MEMS開關和移相器研究方面的傑出貢獻，獲得IEEE2000年度微波獎。
目錄
1 微波套用的RF MEMS導論
1.1 RF MEMS的起源
1.2 RF MEMS的構造
1.3 RF MEMS開關和GaAs PIN二極體及電晶體開關比較
1.4 RF MEMS的套用領域
1.5 RF MEMS實例研究
1.6 國際RF MEMS的研究狀況
1.7 RF MEMS與Si或GaAs電路的集成
1.8 線性度和互調分量
1.9 氣密或非氣密封裝
1.10 功率處理能力和可靠性
參考文獻
2 MEMS器件的力學模型：靜態特性分析
2.1 固支梁的彈性係數
2.2 低K梁的彈性係數
2.3 懸臂樑的彈性係數
2.4 圓膜的彈性係數
2.5 套用梯度引起梁彎曲
2.6 靜電激勵
2.7 靜電激勵下變形梁的形狀
2.8 MEMS固支梁與懸臂的直流對緊維持電壓
2.9 作用在MEMS樑上的力
2.10 MEMS電容開關的自激勵現象
2.11 MEMS電容開關的RF壓緊維持電壓
2.12 模擬模式中的電容比
2.13 靜電激勵梁的穩定性
2.14 MEMS器件中的電壓擊穿
2.15 溫度變化的影響
2.16 加速度力和聲波力的影響
2.17 MEMS分析軟體
3 MEMS器件的力學模型：動態特性分析
……
4 MEMS開關的電磁模型
5 MEMS開關庫
6 MEMS開關的加工和封裝
7 MEMS開關可靠性與功率處理能力
8 MEMS開關電路的設計
9 MEMS移相器
10 分散式MEMS移相器和開關
11 MEMS變容器和可調振盪器
12 微機械電感
13 可重構MEMS網路、濾波器、天線和子系統
14 MEMS移相器和振盪相位噪聲的分析
15 RF MEMS需進一步研究的工作
附錄
參考文獻
