OLYMPUS MX61

具體介紹

OLYMPUS MX61L具體介紹:

型號	OLYMPUSMX61L型顯微鏡
光學系統	UIS2光學系統（無限遠校正光學系統）
顯微鏡鏡體	射光照明（F.N. 26.5）	12V100W鹵素燈泡（預定心型）明視場/暗視場反射鏡可外加1個分光鏡組（選配），轉換使用內置電動孔徑光闌（每個物鏡可預設，物鏡轉換時自動轉換，暗視場觀測時自動打開）
	觀測方法
		①反射光明視場法；②反射光暗視場法；③反射光諾曼爾斯基微分干涉襯比法；④反射光簡單偏振法；⑤反射光螢光法；⑥反射光照明法（IR）⑦透射光明視場法；⑧透射光簡單偏振法③/④/⑤需要專門的分光鏡組。⑦/⑧需要與透射光照明部件配合使用。
觀察鏡筒	超寬場正像傾斜式三目鏡筒（F.N. 26.5）：MX-SWETTR型其它：超寬場三目鏡筒/寬場雙目鏡筒	超寬場正像傾斜式三目鏡筒（F.N. 26.5）：MX-SWETTR型或U-SWETTR型（MX-SWETTR是MX61L的標準配置）
換鏡轉盤	電動五孔明/暗視野法用轉盤，配備滑槽用於微分干涉襯比法觀測：U-D5BDREMC型
載物台	MSS-300A：12寸*12寸，行程：356×305mm 原裝日本中央精機2軸電動平台，可以進行XY軸同時聯動。帶12寸晶圓載物台板。
	內置反射光源：100-120/220-240V~1.9/0.9 50/60Hz
能耗
體積/重量	體積：約710（寬）×843（長）×507（高）mm 重量：約51kg（載物台約重31kg）

半導體/FPD檢查顯微鏡；為用戶提供高效率。

MX61適用於最大200mm的樣本，而MX61L則可適用於最大300mm的樣本。

1、大型載物台搭載：可用於400*300mm液晶基板，300mm晶圓全面檢查(MX61L)。

2、採用高NA的透射光聚光鏡，圖象更銳利。

3、多種觀察方式，多種照明方式，多種附屬檔案以滿足不同套用要求。

4、透射和反射照明可同時使用，極大提高液晶基板觀察效果。

OLYMPUS MX61L與OLYMPUS MX61的對比：

半導體/FPD檢查顯微鏡規格			MX61L	MX61
光學系統			UIS2光學系統（無限遠校正）
機身	觀察方法		明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/螢光
	反射/透射		反射/透射
	照明裝置		機身一體型（明視場，暗視場+1選件）
	照明系統	反射照明	100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙
		透射照明	纖維光導
	對焦單元	電動/手動	手動
		行程	32 mm
		解析度/微調靈敏度	微調旋鈕轉動1周移動0.1 mm
		最大樣本高度	30 mm
	物鏡轉換器	電動型	明視場微分干涉6孔
			明暗視場微分干涉5孔
			明暗視場微分干涉6孔
			明暗視場微分干涉中心輸出5孔
		手動式	-
載物台	行程		14×12英寸右下手柄： 356（X）×305（Y）mm （透射照明範圍356×284 mm）	8×8 英寸右下手柄： 210（X）×210（Y）mm （透射照明範圍189×189 mm） 6×6 英寸右下手柄： 158（X）×158（Y）mm
觀察筒	廣角視場（視場數22）	倒置	雙目/三目觀察筒
		正像	三目觀察筒
	超寬視場（視場數26.5）	倒置	三目觀察筒
		正像	傾斜三目觀察筒
附屬檔案單元			IR單元/電動載物台/自動裝載
外形尺寸			710（W）×843（D）×507（H）mm （標準組合）	509（W）×843（D）×507（H）mm （標準組合）
重量			51 kg（標準組合）	40 kg（標準組合）