基本介紹
- 外文名:Nikon L200
- 類型:顯微鏡
- 倍率:25×-1500×
- 特點:全面的防污染措施
簡介,技術參數,拍攝效果,
簡介
Nikon L200/L200D高倍金相顯微鏡適用8寸晶圓及大面板LCD/TFT產業開發。同樣採用領先的CFI60無窮遠高對比度光學系統,並提供高達25mm的廣闊視野。擁有CFI60光學系統用於積體電路檢查顯微鏡,由此獲得全所未有的高對比圖像。使得物鏡不僅工作距離更長,而且數值孔徑更高:符合SEMI S293A,S8-95S設計;利用計算機輔助工程系統,對機身進行防震設計;具有全面的防污染措施。
技術參數
◆倍率:25×-1500× (明暗場可以選擇)
◆專配L2-S8 8x8 移動載物台(移動範圍200X200mm)
◆8寸晶片(可加裝專業的Wafer holder )
◆可以選配專業偏光(Polarizer)
◆可以選配微分干涉稜鏡(DIC)
◆可以附加NIKON 專業數位相機及CCD影像擴展
◆可以附加專業金相測量軟體實現電腦測量
◆可以選配專業半導體8寸晶片自動裝載機配合使用,提高測試檢查的自動化。

拍攝效果
Nikon L200 對半導體觀察效果