MEMS運動分析儀

MEMS運動分析儀是一種用於信息科學與系統科學領域的計量儀器，於2005年11月25日啟用。

基本介紹

• 中文名：MEMS運動分析儀
• 產地：美國
• 學科領域：信息科學與系統科學
• 啟用日期：2005年11月25日
• 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 測量顯微鏡

技術指標

10MHZ測量頻率 0.5nm解析度。

主要功能

微結構運動參數測量。