《MEMS光開關光可變衰減器單片集成的理論與技術研究》是依託北京大學，由吳文剛擔任負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：MEMS光開關光可變衰減器單片集成的理論與技術研究
- 項目負責人：吳文剛
- 項目類別：面上項目
- 依託單位：北京大學
- 批准號：60278028
- 申請代碼：F0508
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2003-01-01 至 2005-12-31
- 支持經費：31（萬元）
項目摘要
本項目首創性地提出了套用創新差動複合微鏡結構的MEMS光開關光可變衰減器單片集成晶片結構，以及一套用以製造核心片結構的新工藝集成技術。建立了研究微光學MEMS器件光能分布的蒙特卡羅理論模型和對微光學MEMS器件微鏡表面光學粗糙度的理論評價體系，本項目系交叉學科的創新性前沿研究，具有重要的理論意義和顯著的套用價值。
