LMBE450A雷射分子束外延系統

LMBE450A雷射分子束外延系統是一種用於物理學、生物學、材料科學、化學工程領域的工藝試驗儀器，於2010年1月20日啟用。

基本介紹

• 中文名：LMBE450A雷射分子束外延系統
• 產地：中國
• 學科領域：物理學、生物學、材料科學、化學工程
• 啟用日期：2010年1月20日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 食品工藝實驗設備 > 發酵工藝實驗設備

技術指標

1.極限真空優於：5.0x10-8Pa（經烘烤除氣後）2.真空漏率小於2.0x10-8Pa.l/S 3.系統從大氣開始抽氣，20分鐘可達到5x10-3 Pa。

主要功能

各種金屬、氧化物薄膜的製備以及外延生長。