ITO電子蒸發台

ITO電子蒸發台是一種用於信息科學與系統科學、物理學、化學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2016年3月19日啟用。

基本介紹

• 中文名：ITO電子蒸發台
• 產地：中國台灣
• 學科領域：信息科學與系統科學、物理學、化學、材料科學
• 啟用日期：2016年3月19日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備

技術指標

基板尺寸：2、4、6英寸； 基板加熱：最高溫度350℃，控溫精度1℃； 系統極限真空度：2×10-7 torr； 蒸發源數量：6個坩堝； 可蒸發材料：ITO、SiO2等膜厚均勻性：≤±5%。

主要功能

用於半導體晶片製造環節中ITO、SiO2等化合物的蒸鍍。