IBC(Interdigitated back contact)電池出現於20世紀70年代，是最早研究的背結電池，最初主要套用於聚光系統中，見圖l。電池選用n型襯底材料，前後表面均覆蓋一層熱氧化膜，以降低表面複合。利用光刻技術，在電池背面分別進行磷、硼局部擴散，形成有指狀交叉排列的P區、N區，以及位於其上方的P+區、n+區。重擴形成的P+和N+區可有效消除高聚光條件下的電壓飽和效應。此外，P+和N+區接觸電極的覆蓋面積幾乎達到了背表面的1/2，大大降低了串聯電阻。IBC電池的核心問題是如何在電池背面製備出質量較好、呈叉指狀間隔排列的P區和N區。為避免光刻工藝所帶來的複雜操作，可在電池背面印刷一層含硼的叉指狀擴散掩蔽層，掩蔽層上的硼經擴散後進入N型襯底形成P+區，而未印刷掩膜層的區域，經磷擴散後形成N+區。通過絲網印刷技術來確定背面擴散區域成為目前研究的熱點。
基本介紹
- 中文名：IBC太陽能電池
- 外文名：Interdigitated back contact
- 出現於：20世紀70年代
- 套用於：聚光系統中
IBC(Interdigitated back contact)電池出現於20世紀70年代，是最早研究的背結電池，最初主要套用於聚光系統中，見圖l。電池選用n型襯底材料，前後表面均覆蓋一層熱氧化膜，以降低表面複合。利用光刻技術，在電池背面分別進行磷、硼局部擴散，形成有指狀交叉排列的P區、N區，以及位於其上方的P+區、n+區。重擴形成的P+和N+區可有效消除高聚光條件下的電壓飽和效應。此外，P+和N+區接觸電極的覆蓋面積幾乎達到了背表面的1/2，大大降低了串聯電阻。IBC電池的核心問題是如何在電池背面製備出質量較好、呈叉指狀間隔排列的P區和N區。為避免光刻工藝所帶來的複雜操作，可在電池背面印刷一層含硼的叉指狀擴散掩蔽層，掩蔽層上的硼經擴散後進入N型襯底形成P+區，而未印刷掩膜層的區域，經磷擴散後形成N+區。通過絲網印刷技術來確定背面擴散區域成為目前研究的熱點。
