GMR磁場感測器

gmr磁場感測器即巨磁阻（gmr=giant magneto resistive）磁場感測器。它是一個集磁性薄膜，半導體集成及納米技術為一體的高新技術產品，套用非常廣泛。其技術結構套用一個數學公式：gmr感測器=磁性材料+納米技術+半導體集成。

基本介紹

• 中文名：GMR磁場感測器
• 外文名：GMR:Giant Magne to Resistive

產品效應

一、gmr效應的簡介

2007年諾貝爾物理學獎分別授予來自德國於利希亥姆霍茲研究中心的彼得·格林貝格爾(peter gruenberg)和來自法國巴黎第十一大學的阿爾貝·費爾(albert fert)教授。這兩位獲獎者在上世紀80年代獨立進行巨磁阻（gmr）研究，因相繼發現巨磁阻效應而雙雙榮獲本年度諾貝爾物理學獎。外部磁場通過巨磁阻效應可使磁性材料薄層的電阻發生巨大變化。gmr效應的發現為結構緊湊的計算機硬碟的全新讀取磁頭的開發鋪平了道路，可將個人計算機、攜帶型音樂播放器（mp3播放器）和攝像機的硬碟存儲容量提高至數吉位元組。

gmr效應是由幾納米厚的多層金屬膜的磁場產生的電阻變化導致的。簡單來說，該金屬膜由具備固定的穩定磁化方向（參考方向）的參考層和磁化方向由外部磁場決定（如指南針）的感測層構成。感測層和參考層通過僅為幾個原子厚的銅層隔開，從而產生gmr效應。施加的磁場和感測器參考層之間的角度決定了金屬膜的電阻變化。

二、gmr效應的發展狀況

巨磁電阻效應自發現以來即引起各國企業界及學術界的高度重視，gmr效應已成為當前凝聚態物理5個熱點之一。1994年，美國的nve公司首先實現巨磁電阻（gmr）效應的產業化，並銷售巨磁電阻磁場感測器。1998年，美國的ibm公司成功地把gmr效應套用在計算機硬碟驅動器上，研製出巨磁電阻（gmr）磁頭。巨磁電阻（gmr）磁頭的套用帶動了計算機產業的迅速發展，打破了信息高速公路圖像傳遞存儲的瓶頸，目前存儲密度已高達56gb/平方英寸。世界gmr磁頭的市場總額每年400億美元。更令人可喜的是，2001年美國的摩托羅拉公司宣布成功研製出gmr磁隨機讀取存儲器，這種存儲器將預示1000億美元的市場容量。隨著人們對gmr效應深入的研究和開發利用，一門以研究電子自旋作用為主同時開發相關特殊用途器件的新學科---自旋子學逐漸興起起來。最近，美國自然科學基金會（nsf）提出：自旋子學科的發展及套用將預示著第四次工業革命的到來。通過香山科學會議，我國制定了gmr高技術研究開發計畫，並把gmr效應的研究及套用開發列為我國將要重點發展的七個領域之一。但是由於技術、資金及設備等諸多因素，gmr的研究在國內還局限於實驗室的水平。

優勢所在

gmr磁場感測器和光電等感測器相比，具有功耗小、可靠性高、體積小、能工作於惡劣環境等優點。這些都是現有傳統感測器所不能相比的。另一方面，在製造成本上，gmr磁場感測器並不高於其它普通感測器，甚至大大低於某些感測器。

工作原理

磁電阻（gmr）效應是1988年發現的一種磁致電阻效應，由於相對於傳統的磁電阻效應大一個數量級以上，因此名為巨磁電阻(giant magnetoresistanc)，簡稱gmr。

1. 巨磁電阻（gmr）原理，見圖一。

巨磁電阻（gmr）效應來自於載流電子的不同自旋狀態與磁場的作用不同，因而導致的電阻值的變化。這種效應只有在納米尺度的薄膜結構中才能觀測出來。賦以特殊的結構設計這種效應還可以調整以適應各種不同的性能需要。

反鐵磁耦合時（外加磁場為0）處於高阻態的導電輸出特性，電阻：r1/2

外加磁場使該磁性多層薄膜處於飽和狀態時（相鄰磁性層磁矩平行分布），而電阻處於低阻態的導電輸出特性，電阻：r2*r3/（r2+r3），r2>r1>r3

圖1、利用兩流模型來解釋gmr的機制

2. 巨磁電阻（gmr）感測器原理，見圖二。

巨磁電阻（gmr）感測器將四個巨磁電阻（gmr）構成惠斯登電橋結構，該結構可以減少外界環境對感測器輸出穩定性的影響，增加感測器靈敏度。工作時圖中“電流輸入端”接5v~20v的穩壓電壓，“輸出端”在外磁場作用下即輸出電壓信號。

圖2（1）：惠斯凳電橋在磁場感測器套用中的原理

圖2（2）：惠斯凳電橋中r1和r2在外加磁場作用下的變化情況

3. 巨磁電阻（gmr）感測器性能，見圖三，表一。

圖三所示為巨磁電阻（gmr）感測器在外場中的性能曲線，表明該感測器在±200oe的磁場範圍類有較好的線性。

圖3：巨磁電阻（gmr）在外加磁場下的性能曲線

表一 各公司巨磁電阻（gmr）感測器性能對照

4.產品使用說明

a . 巨磁電阻（gmr）感測器作為一種有源器件，其工作必須提供5~20v的直流電源。而且該電源的穩定性直接影響感測器的測試精度，因此要求以穩壓電源提供；使用中也應避免過電壓供電；

b .巨磁電阻（gmr）感測器作為一種高精度的磁敏感測器，對使用磁環境也有一定的要求，其型號選用應根據使用環境的磁場大小來決定；

c. 巨磁電阻（gmr）感測器對磁場的靈敏度與方向有關。其外形結構上標註的敏感軸為感測器對磁場最為靈敏的方向， 　參見圖四。當不平行時，靈敏度降低，其關係為 　sθ=s0cosθ 　其中sθ為磁場方向與感測器敏感軸間的夾角為θ時的靈敏度，s0為磁場方向與感測器敏感軸平行時的靈敏度。

圖4 巨磁電阻（gmr）感測器外形結構及接線圖

d. 對於輸出特性相對於外磁場為偶函式時，則將感測器作為測量使用時需要外加偏置磁場。理想情況偏置磁場的大小為感測器保持線性範圍磁場的1/2。

套用分析

1、gmr磁場感測器可用來導航及用於高速公路的車輛監控系統 　地球是一個大磁鐵，地球表面的磁場大約為0.5oe，地磁場平行地球表面並始終指向北方。利用gmr薄膜可做成用來探測地磁場的高級羅盤。當可以同時探測平面內磁場x和y方向分量的gmr磁場感測器固定在交通工具上，瞬間航向與地球北極的夾角可通過gmr感測器的x和y方向的電壓相對改變而確定下來。圖3顯示這種感測器的具體工作原理。gmr磁場感測器隨輪船的方向改變而改變其和地磁場的夾角，相對來說，也可以等效為地磁場的方向在改變。我們已研製出能夠探測磁場x和y方向分量的集成gmr感測器。此感測器可作為羅盤並套用在各種交通工具上作為導航裝置。美國的nve公司已經把gmr感測器用在車輛的交通控制系統。我們知道，各種不同的車輛（物體）在外界都有其自身特徵的磁場分布。通過用gmr弱場感測器可探測各種車輛的磁場分布進而確定該車輛的型號。利用gmr感測器不僅可探測靜止車輛的狀況進而用在交通燈處的交通控制和停車場處停車位置的監控，而且也可探測移動車輛的情況。具體來說，放置在高速公路邊的gmr感測器可以計算和區別通過感測器的車輛。如果同時分開放置兩個gmr感測器，還可以探測出通過車輛的速度和車輛的長度，當然gmr也可用在公路的收費亭，從而實現收費的自動控制。另外高靈敏度和低磁場的感測器可以用在航空、航天及衛星通信技術上。大家知道，在軍事工業中隨著吸波技術的發展，軍事物件可以通過覆蓋一層吸波材料而隱蔽，但是它們無論如何都會產生磁場，因此通過gmr磁場感測器可以把隱蔽的物體找出來。當然，gmr磁場感測器可以套用在衛星上，用來探測地球表面上的物體和底下的礦藏分布。 　磁場感測器的導航原理

2、gmr磁場感測器可來探測dc、ac電流及用作隔離器和電子線路中的反饋系統（開關電源） 　眾所周知，通電導線周圍將產生磁場，其磁場的強弱與通電電流的大小成正比。若將gmr磁場感測器及環形軟磁集磁通器放置在通電導線附近，則由gmr感測器的輸出電壓可以測量導線中通過的電流。我們已利用反鐵磁耦合的feni/feco/cu的多層膜和集成的永磁薄膜作為偏場，並研製出線性測量範圍正負200oe的惠斯通電橋感測器。利用這種感測器可探測電流高達10,000安培的直流和交流。目前有三種辦法可用來探測電流：電阻短路的辦法，其缺點在於引入一電壓降和這種方法不能提供上下級的隔離。電流轉換器則基於安培定理，但是其僅僅用來探測直流。gmr磁場感測器不僅可用來探測直流和交流而且還可保證上下級隔離。隨著半導體集成技術的發展，目前已把gmr薄膜感測器和集成線路板結合在一起，從而實現了小型化、集成化，提高了靈敏度和降低了成本。另外電流探測原理，目前已經用作隔離器、開關電源和無刷直流電機系統。隔離器主要是把高電壓及高電流情況下的初級信號通過電壓/頻率轉換並傳給下一級，在下一級再通過頻率/電壓轉換成為電壓或電流信號，因此上下級而不相互干擾。這種探測電流大小的隔離器已被葡萄牙的一家公司所採用。至於開關電源，我們利用兩次沉積自旋閥多層膜的辦法，已研製出可探測微安級的交直流及探測磁場範圍在正負20oe的gmr磁場感測器。並且與西班牙的一所大學合作，成功地把這種感測器用在開關電源線路中作為反饋系統，可改善其頻率輸出特性高達1mhz。至於在無刷直流電機的套用：大家知道，有刷直流電機是用接觸碳刷或金屬片做整流子供電，使轉子旋轉。這種接觸式整流子因摩擦給電機帶來非常不好的影響，比如使用壽命短、噪音大、有火花、產生干擾電磁波等。如果用gmr感測器代替電機的摩擦整流子，那么就可以避免因電刷摩擦而帶來的影響，而且還可以實現電機高速旋轉及其調速和穩速的目的。因此，它的穩定性和可靠性都非常高。另外，這種無刷電機轉矩-重量比較大，速度轉矩特性的線性度比較好。圖.給出了測量電流的原理圖。

3、gmr感測器可用來測量微小的位移及其相關的套用 　磁場感測器來探測被測物體的位移的原理是通過利用一永磁鐵作為參照物，參照物相對於磁感測器的運動可等效為磁敏器件在均勻梯度的磁場中的移動，因此磁場感測器的輸出則反映著磁場感測器或永磁鐵的位移量。下圖給出一圓柱磁鋼及其周圍的磁場分布。我們已研製出一種能同時探測x—y方向位移的磁場感測器。由於採用集成技術，可使該磁場感測器小型化，同時提高了精度。這種感測器已成功運用在機器人及機械手的控制系統，並使其智慧型化和拿取、放置物體。另外也使機器人具有識別物體的功能。這種位移感測器也可用在電梯及相應的升降系統作為控制系統。此外，可以用gmr位移感測器改造某些傳統的工業儀表，擴大其套用範圍。例如，浮子流量計是一種得到廣泛套用的非電量儀表，如果改用磁性浮子和外配一個gmr磁位移感測器，就能製成一個有電壓輸出的數字型位移感測器。在汽車發動機中，為了實現電子點火，往往需要精密堅固的位移感測器來測量發動機主軸的準確轉角，決定點火時間。以前多用霍爾元件，現在完全可以用gmr替代，從而提高工作溫度範圍和降低磁場觸發磁場的強度。gmr位移感測器也可用在精密工具機上來提高機械加工的精度。活塞在氣缸中的運動情況也可以通過gmr位移感測器給探測出來。

4、gmr角度位移及角速度感測器和相關套用 　為了測量一物體的轉動角度的大小，往往可以通過探測磁鋼因轉動而造成其磁場的方向相對於固定的gmr磁場感測器的改變，我們研製出的可探測平面內磁場方向和大小的gmr磁場感測器可以探測相對其轉動的磁鋼的轉動角度。當一塊磁鐵固定在轉動輪子的邊沿而gmr磁場感測器固定在輪子的旁邊並保持一定的距離時，參考磁鐵隨輪子而轉動，每當輪子轉動一圈，就會使產生一電壓脈衝輸出。下圖給出角速度感測器的原理圖。我們利用集成技術已研製出專用來測量角速度即轉速的數字式自旋閥gmr磁感測器。該磁敏感測器可探測各種情況下的角速度。該類gmr磁場感測器可用在各種遠程抄表系統，在這裡包括了煤氣、水、電錶的數字式的處理。隨著自動化水平的提高，對於數字式的各種儀表的需求量越來越大。我們已與遼寧萬恆科技有限公司建立了聯繫。該公司需要大量數字式gmr磁感測器套用在遠程抄表系統。在汽車（摩托）工業中，gmr磁場感測器可用在剎車系統（abs），通過探測角速度進而起到制動作用。不久我國將加入世貿組織（wto），因此汽車（機車）的防爆剎車系統的研製和利用的確是勢在必行。至於電機馬達行業，為了得到穩定轉速的工作狀態，轉速的測量和控制需要用gmr感測器來測量角速度並通過反饋系統可得到穩定的角速度輸出。同時，gmr角速度感測器也可用在洗衣機行業。隨著機算機的存儲密度的提高，對伺服系統的要求也在提高，對於磁碟轉速的控制的精度也在提高，因此磁場角速度感測器將會套用在該領域。另外，利用gmr薄膜材料可研製出各種用途的磁性編碼器。磁性編碼器的優點在於不易受塵埃、結露、影響、對潮濕氣體和污染不敏感，同時其結構簡單緊湊，可高速運轉，而且其回響速度快（納秒級），體積比光學式編碼器小，而成本更低，且易將多個元件精確地集成，比用光學元件和半導體霍爾磁敏元件更容易構成新功能器件和多功能器件。由於磁性編碼器具有上述諸多優點，因而近年來在高精度測量控制領域中的套用不斷增加，其市場需求量每年以20-30%的速度增長。在高速度、高精度、小型化、集成化及長壽命的要求下，在激烈的市場競爭中，磁性編碼器以其突出特點而獨具優勢，成為發展高技術的關鍵。

5、gmr醫用及生物磁場感測器 　人體之中存在著各種形式的機械運動，它們是機體完成必要的生理功能的前提和保證，因此檢測這些生物機械運動，無論對基礎醫學還是對臨床醫學來講，都具有十分重要的意義。以前，由於必須利用體積大和功率高、價格貴的超導量子磁強計而局限在方面醫學的發展。高靈敏度及集成化的gmr磁敏感測器的出現為這些機械運動和病變部位的非接觸式的探測提供了方便，並推動其發展。下面介紹幾種特殊在此方面的套用。磁性生物感測器的原理如下圖所示：首先各種各樣的細胞、蛋白質、抗體、病原體、病毒、dna可以用納米級的磁性小顆粒來標記，也就是首先是這些被探測的對象磁性化，進而在用高靈敏度的gmr磁場感測器來探測它們的具體位置。這種也可用於醫學及臨床分析、dna分析、環境污染監測等領域。高靈敏度的gmr感測器也可用在用來腦電圖、心機圖等的高精度的儀器設備上，來診斷類似於腦腫瘤病變的問題。利用gmr磁場感測器可以檢測眼球運動、眼瞼運動的方法，這有助於定量評價和研究睏倦、視力疲勞現象，和診斷某些眼科疾病。

6、gmr磁敏感測器在磁性介質的探測和在磁性油墨鑒偽點鈔機中的套用 　磁場感測器可以探測不同的磁性介質。在這種套用中，磁性介質攜帶著要被探測的信息。磁性介質是有非磁性的基體和磁性材料組成，磁性材料放置在基體內或基體的表面。當攜帶著信息的磁性介質掃過gmr磁場感測器時，則特有的信息被探測出來。感測器的輸出依賴於磁性介質的性能、工作縫隙的距離和感測器的靈敏度。目前主要用在磁性墨跡的識別、磁性編碼的讀出、細小磁性微粒的探測、介質磁性簽字的鑑別。

7、gmr磁敏加速度感測器 　加速度感測器是通過測量被加速運動物體的慣性力來確定加速度的測量裝置。根據牛頓定律，被加速物體有一種慣性力，其大小等於它的質量和加速度的乘積，而其方向與加速度方向相反。由於這種慣性力的存在，使被加速系統中懸掛的彈性片發生彎曲，其彎曲量可由gmr磁敏器件進行測量，從而得到系統的加速度。

發展狀況

gmr磁場感測器由於其靈敏度高、熱穩定性好、探測磁場範圍寬而完全可取代霍爾及磁阻（amr）元件，進而廣泛套用在信息、電機、電子電力、能源管理、汽車、磁信息讀寫及工業自動控制等領域。 　磁場感測器通過探測交直流磁場，交直流電流，位移及角速度等物理量而運用於信息、自動化控制及電力電子等行業。信息產業部“十五”規劃和二00五年遠景目標明確指出：“加入世貿（wto）後，對於我國基本上還是‘外殼產業’的信息產品製造業來說，將面臨嚴峻的考驗和挑戰”。如何擁有自主智慧財產權，掌握核心技術是每個企業急需解決的問題。