《FET式氧化物納米晶新型氣敏元件的研製》是依託吉林大學，由徐寶琨擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：FET式氧化物納米晶新型氣敏元件的研製
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：徐寶琨
- 依託單位：吉林大學
- 批准號：69474027
- 申請代碼：F0303
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：1995-01-01 至 1997-12-31
- 支持經費：10（萬元）
項目摘要
本項研究採用化學合成方法製備多種具有優異氣敏特性的單一氧化物和複合氧化物的納米晶顆粒材料和薄膜材料作為敏感材料，利用微電子工藝技術研製一種新型的納米晶氧化物場效應氣敏元件。該工藝技術與矽集成技術可實現兼容，本項研究對促進敏感元件向小型化、集成化、多功能及智慧型化方向發展具有重要價值，對開發納米材料在感測器領域的套用具有實際意義，本項研究中所發現的納米材料的溫敏特性和光催化特性等對相關領域也具有重要和科學意義和開發價值。本項工作在國內外學術刊物已發表論文8篇，其中一部分工作獲國家教委科技進步三等獎一項。
