Crooke 暗區

對中等能量電子的需求阻礙了在電極附近的光學發射，這些區域稱為暗區，在陰極正上方區域的大多數電子具有非常低的能量，被稱為Crooke 暗區（如圖1所示）。陽極是電子的吸附器，因此在陽極附近電子的密度非常小，沒有可觀的發射，這個暗區被稱為陽極暗區。最後，在陰極附近也存在一個區域，那裡電子被加速到非常高的的能量，導致電離，只有極少的電子具有適合發光的能量，這個區域被稱為法拉第暗區。套用於微電子製造的輝光放電，最重要的特徵之一是在Crooke 暗區的大電場，漂移和擴散到這個區域邊緣的離子會被加速而快速移向陰極，如果陰極上有矽晶片或者其他感興趣的材料，我們就能夠用這種離子轟擊來完成各種不同的工藝，暗區的寬度取決於腔室的壓力。