CMTF

CMTF臨界調製傳輸函式（CMTF,CriticalModulationTransferFunction）。

基本介紹

• 中文名：臨界調製傳輸函式
• 外文名：CriticalModulationTransferFunction

主要表征光刻膠本身曝光對比度的參數。即光刻膠分辨透射光線明暗的能力。一般來說光路系統的調製傳輸函式必須大於光刻膠的臨界調製傳輸函式，即MTF＞CMTF。