概述,主要特性, 概述6514型靜電計具有靈活的接口性能,其電流靈敏度、電荷測量能力、解析度和速度。6514內置式IEEE-488、RS-232與數字式I/O接口,可以很容易地配置為全自動、高速系統,用於低電平測試。 6514型可程式靜電計主要特性* <1fA 噪聲* 電壓測量時,輸入阻抗>200TΩ* 電荷測量範圍10fC-20µC* 速度可達1200個讀數/秒* 簡易的用戶界面提供開關,計算機以及元件處理器* 主動消除電壓與電流的偏移