3D納米結構高速直寫機

基於熱掃描探針光刻技術 ，3D納米結構高速直寫機 NanoFrazor 可以實現高精度3D 納米結構的直寫和實時的形貌探測。

基本介紹

• 中文名：3D納米結構高速直寫機
• 用途：納米結構刻寫
• 型號：NanoFrazor
• 技術原理：熱掃描探針光刻 

概念

瑞士Swisslitho公司的3D納米結構高速直寫機NanoFrazor採用IBM蘇黎世研究中心研發多年套精榆的熱探針掃描刻寫技術及新型整罪捆民的直寫膠技探海臭術，創新地將基於熱探針的笑肯宙納米結構刻寫和基於冷探針形貌讀取相結合，實現高精度3D 納米結構的直寫和實時的形貌探測功能。該技術創新獲得R&D雜誌2015年甩少束檔R&D top 100大獎。

原理

3D納米結構高速直寫機基於熱掃描探針光拜閥少刻技術(Thermal Scanning Probe Lithography )，其核心部件是一種可加熱的、非常尖銳的針尖，利用此針尖可以直接進行複雜納米結構的刻寫並且同時探測刻寫所得結構的形貌。加熱的針尖通過熱作用，直接揮發局部的抗刻蝕劑，從而實現對各類高分辨納米結構的製備。

特點

1、利店戀用加熱針尖直接刻寫圖案；

2、利用雷射熱揮發實現圖案化；

3、原位AFM輪廓成像；

4、利用原位AFM實現精準的對準，從而實現無掩膜套刻及寫場拼接；

5、閉環光刻；

6、灰度曝光，解析度及精度達到2nm；

7、良好的隔音及隔振性能；

8、無需潔淨間，亦無特殊的實驗室環境要求