3D形貌雷射顯微系統

3D形貌雷射顯微系統是一種用於機械工程領域的分析儀器，於2015年11月12日啟用。

基本介紹

• 中文名：3D形貌雷射顯微系統
• 產地：日本
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2015年11月12日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器

技術指標

微分干涉稜鏡（U-DICR）；5X物鏡（MPLFLN5X）；平場半復消色差物鏡5X；參數：數伯孔徑0.15,工作距離20nm。

主要功能

測量樣品的行寬和不均勻剖面，並以各種方式顯示圖像。