《157納米高透過率氧化矽玻璃的製備》是依託復旦大學，由劉麗英擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：157納米高透過率氧化矽玻璃的製備
- 依託單位：復旦大學
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：劉麗英
- 批准號：60278039
- 申請代碼：F0509
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2003-01-01 至 2003-12-31
- 支持經費：7（萬元）
項目摘要
隨著光刻精度的不斷提高，光刻將使用157納米波長的光源。本課題針對157納米光刻中所用光刻模版的問題，提出可通過採用溶膠-凝膠技術製備塊狀氧化矽玻璃來實現。製備的塊狀凝膠玻璃可通過化學處理除水摻氟得到更短的紫外截止波長，在157納米具有高的透過率，通過該項研究，有望為低成本製備大尺寸的具有157納米高透過率的玻璃開闢一條新路。
