15-探針台

15-探針台是一種用於機械工程領域的分析儀器，於2018年12月28日啟用。

基本介紹

• 中文名：15-探針台
• 產地：中國台灣
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2018年12月28日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 電子探針

技術指標

顯微鏡系統：1、氣動移動支架 2、移動範圍：50mm*50nm2、探針台：1、可載入真空/磁性吸附探針座 2、卡盤平整度：＜5μm。

主要功能

真空吸附；X-Y解析度優於+/-1um 載物台平整度5um 可控制樣品室氣氛及禁止光磁 機台配有真空模組，具有氣體環境操作功能，支持升級高低溫模組。