基本介紹
- 中文名：高純氣體系統用質量流量計
- 外文名：Usedin High Purity Gas System Mass Flowmeter
- 類別：氣體工業名詞
- 原理：感測器部分的毛細管處繞兩個電阻
- 用途：測量各種氣體質量流量的儀表
高純氣體系統用質量流量計（Usedin High Purity Gas System Mass Flowmeter）
氣體工業名詞，是一種通過毛細管的熱交換原理來測量各種氣體質量流量的儀表。其原理是在感測器部分的毛細管處繞上兩個電阻，形成電橋，當氣體在有感測器的管子內流動時，此電橋迴路可得到與流量成正比例的輸出信號。在半導體的澱積和擴散工藝中，利用質量流量計可以準確控制流量，從而可實現高精度的澱積和精確控制擴散深度。
