高純三氯化硼在室溫和大氣壓下為無色、腐蝕性，不可燃的有毒氣體。
特性,製法,
特性
TLV未定，可採用氯化氫的重量加權平均濃度(T1}G'A ) S x 10“。相對密度}}f空氣=1}4.12。氣體密度4.85峨Iat'(21.1};，101.3kPa};液體密度]324掩/m31;21.1})。沸點12.5:。熔點一107.3T:。有窒息性臭味。
製法
製法是以粗製三氯化確為原料，經冷卻，吸附，低沮收集，抽出不凝性氣體即可得到高純產品可用作矽和鍺外延，擴散和離子注人過程的p型摻雜源;用於光纖、藥品和耐熱塗料的製造，還可用作鋁的氣相刻蝕劑;用於精煉鋁、鎂、鋅和銅合金以及熔融金屬中除去氮化物、碳化物和氧化物。在製備氮化硼、碳化硼等超細微粉方面有廣闊的by用前景。
