高純三乙基鎵是一種化學物質，採用精密減精餾和加合物技術提純製備。)‘一泛用於低積炭的薄膜錠積。 特性熔點一R2.3}'沸點14 }}'。密度l . 0157飯Ic rn'純度少}J9.y99},..自燃性液體，對空氣和水f一分敏感蒸氣壓比三甲地鋅小，用於製備i分潔淨的‘7ijE}S薄膜。
