高精量微納米材料沉積系統

高精量微納米材料沉積系統是一種用於化學領域的工藝試驗儀器，於2017年10月10日啟用。

基本介紹

• 中文名：高精量微納米材料沉積系統
• 產地：日本
• 學科領域：化學
• 啟用日期：2017年10月10日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備

技術指標

XYZ三軸平台移動範圍不小於: X軸：350 mm；Y軸：300 mm；Z軸：50 mm；三軸平台移動精度為1um；三軸平台重複定位精度優於5um，移動速度不小於50mm/s。

主要功能

通過沉積方式圖案化製備器件等。