高性能MEMS器件設計與製造關鍵技術及套用

高性能MEMS器件設計與製造關鍵技術及套用,2019年度國家科學技術進步獎二等獎,主要完成人

黃慶安，周再發，聶 萌，

徐 波，夏長奉，黃見秋，

李偉華，唐潔影，朱 真，

王 磊

高性能MEMS器件設計與製造關鍵技術及套用,2019年度國家科學技術進步獎二等獎

主要完成人：黃慶安，周再發，聶　萌，徐　波，夏長奉，黃見秋，李偉華，唐潔影，朱　真，王　磊

主要完成單位：東南大學，江蘇英特神斯科技有限公司，無錫華潤上華科技有限公司

華潤微電子獲國家科技進步二等獎