《高密度低溫電漿器壁條件與活性粒子的關係》是依託清華大學，由蒲以康擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：高密度低溫電漿器壁條件與活性粒子的關係
- 依託單位：清華大學
- 項目負責人：蒲以康
- 項目類別：面上項目
- 批准號：10275040
- 申請代碼：A29
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2003-01-01 至 2005-12-31
- 支持經費：36（萬元）
項目摘要
實驗研究高密度低溫電漿反應器器壁的溫度材料及表面狀況對電漿中的相關活性粒子濃度和空間分布及電子溫度、電子密度、電子能量分布的影響。研究結果將為反應器的設計和電漿參數的調節和控制及電漿材料處理過程的最佳化提供重要參考。
