《高加速度下擺臂高頻往復旋轉高精定位控制研究》是依託華中科技大學，由龔時華擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：高加速度下擺臂高頻往復旋轉高精定位控制研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：龔時華
- 依託單位：華中科技大學
中文摘要,結題摘要,
旋轉擺臂的定位控制問題一直是控制領域中的前沿熱門課題，從控制工程的角度來看，旋轉擺臂是一種具有非線性模型的負載；旋轉擺臂的高加速度運動和精確定位是微電子和半導體製造的核心技術之一,同時也是航天航空機構、精密設備和機器人等高尖端技術領域的關鍵功能要求。本課題主要研究高加速度下擺臂的高頻往復旋轉精確定位控制理論和方法，包括：①高加速度下旋轉擺臂的機械動力學特性，②基於高加速度往復旋轉運動命令的轉矩和速度的高頻回響控制，③基於剛柔耦合負載的高精度擴展伺服算法，④基於外部激勵的變阻尼主動抑振控制。通過本課題的研究，探索高加速度下旋轉擺臂高頻往復運動的動力學行為規律及其高頻回響、高精度定位控制新策略、新方法，推動運動控制理論的發展，提升我國高端電子製造裝備的核心競爭力。
旋轉擺臂的定位控制問題一直是控制領域中的前沿熱門課題，從控制工程的角度來看，旋轉擺臂是一種具有非線性模型的負載；旋轉擺臂的高加速度運動和精確定位是微電子和半導體製造的核心技術之一,同時也是航天航空機構、精密設備和機器人等高尖端技術領域的關鍵功能要求。本課題主要研究高加速度下擺臂的高頻往復旋轉精確定位控制理論和方法，包括：①高加速度下旋轉擺臂的機械動力學特性，②基於高加速度往復旋轉運動命令的轉矩和速度的高頻回響控制，③基於剛柔耦合負載的高精度擴展伺服算法，④基於外部激勵的變阻尼主動抑振控制。通過本課題研究，實現了擺臂高加速度下高頻往復旋轉高精度定位，對於180°的往復旋轉運動，其旋轉運動及到位整定時間在80ms之內，定位精度達到±4＂，實現了200mm擺臂末端定位精度±10µm精度要求。
