高功率高頻率雷射器

高功率高頻率雷射器是一種用於材料科學領域的計量儀器，於2018年6月27日啟用。

基本介紹

• 中文名：高功率高頻率雷射器
• 產地：加拿大
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2018年6月27日
• 所屬類別：計量儀器 > 電磁學計量儀器 > 1MHz以下交流電壓國家基準

技術指標

1）波長：248 nm (KrF)2）單脈衝最大能量：≥ 600 mJ3）脈衝寬度： 20 ns4）穩定平均功率：30 W5）最大重複頻率：50 Hz6）能量穩定性：1% (p-p)7）光束髮散角：1×3 mrad8）光束指向穩定性：160 μrad9）光束尺寸：12 nm×28 nm。

主要功能

主要用於脈衝雷射沉積法製備氧化物外延異質結。