《高功率線上式MEMS集成微波駐波計基礎研究》是依託東南大學，由張志強擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：高功率線上式MEMS集成微波駐波計基礎研究
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：張志強
- 依託單位：東南大學
中文摘要,結題摘要,
中文摘要
微波駐波計是雷達系統中自檢測套用的關鍵元件，它在低功耗、高功率和體積方面面臨巨大挑戰。同時，對其工作狀態的控制研究尚屬空白。本項目創新性地提出高功率線上式MEMS集成微波駐波計及可控狀態的結構方案，採用全無源結構，通過定向耦合器、基於熱電堆的MEMS功率感測器和MEMS電容式開關，實現線上測量Ka波段較大信號的輸入功率、反射功率和駐波比，並可根據需求控制檢測和不檢測兩種狀態，避免不需檢測時微波信號的損耗。預期：①解決元件協同設計的基礎問題，探明各元件之間相互作用關係；②建立包括集總S參數、感測和控制過程中多場轉換和耦合機制的微波系統級模型，闡明感測和控制機理，揭示各元件參數對駐波計性能影響的規律；③提出基於GaAs MMIC和MEMS技術的工藝製備和封裝的兼容實現方法；④研製出原型樣機並通過實驗驗證其有效性，從而提供了一種具有較高參考價值的設計理論和實現方法。
結題摘要
面向微波駐波計在雷達等系統中自檢測的套用，本項目提出了一種基於GaAs MMIC技術的低功耗、高功率、微型化、線上式MEMS集成微波駐波計；採用全無源結構實現，基於微波功率-熱-電的測量原理；完成了線上式MEMS集成微波駐波計的協同設計和結構特性研究；完成了線上式MEMS集成微波駐波計的結構仿真和最佳化研究；完成了微波S參數、微波功率-熱-電轉換機制和電-力-電磁波耦合機制等微波系統模型的建立；完成了基於GaAs MMIC技術和MEMS技術的兼容製備工藝和單片集成方法；完成了線上式MEMS集成微波駐波計的原型樣機的研製，以及完成了其表征和測試研究，並通過實驗驗證了設計的有效性；建立了一套完整的線上式MEMS集成微波駐波計的設計理論和實現方法，解決了結構設計、模型建立、工藝製備和測試等關鍵技術。
