高分辨非球面形狀測試系統

高分辨非球面形狀測試系統是一種用於能源科學技術領域的物理性能測試儀器，於2012年02月16日啟用。

基本介紹

• 中文名：高分辨非球面形狀測試系統
• 產地：英國
• 學科領域：能源科學技術
• 啟用日期：2012年02月16日
• 所屬類別：物理性能測試儀器

技術指標

形狀誤差（pt）小於等於 0.1um, 8mm測量範圍，0.8nm解析度。

主要功能

測量物體的表面輪廓（接觸式），表面粗糙度測量，形狀誤差測量。