《駐波脈衝功率共振耦合非平衡磁控濺射電漿原理》是依託大連理工大學,由牟宗信擔任醒目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：駐波脈衝功率共振耦合非平衡磁控濺射電漿原理
- 依託單位：大連理工大學
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：牟宗信
- 支持經費：25（萬元）
- 研究期限：2005-01-01 至 2007-12-31
- 負責人職稱：副教授
- 申請代碼：E0705
- 批准號：50407015
項目摘要
本項目旨在發展和完善一種遠離平衡態駐波高功率中頻脈衝共振耦合磁控濺射沉積技術。研究由磁控放電陰極低β電荷漂移所形成電荷密度駐波、同軸非平衡會切磁場約束的電漿束流湍動，同步耦合高功率中頻脈衝，形成電漿共振狀態，提高其能量耦合效率、離化率、增強電荷傳輸。通過診斷脈衝電漿束流電荷密度起伏、陰極低β漂移電荷密度波動的頻譜特性、電漿成分空間分布,揭示這種共振耦合對電漿電荷傳輸、功率耦合效率的影響和機理；研究這種沉積技術對薄膜結構和性能造成的影響；理論研究這種遠離平衡條件下電漿中的玻姆條件和鞘層特性。提出一種遠離平衡態，通過駐波脈衝功率共振耦合提高非平衡磁控濺射電漿能量和離化率的技術和理論。
