《面向SOC的新型室溫紅外探測器及其陣列》是依託清華大學，由方華軍擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：面向SOC的新型室溫紅外探測器及其陣列
- 依託單位：清華大學
- 項目負責人：方華軍
- 項目類別：青年科學基金項目
- 支持經費：7（萬元）
- 研究期限：2008-01-01 至 2008-12-31
- 負責人職稱：副研究員
- 申請代碼：F0406
- 批准號：60706010
項目摘要
紅外探測器及成像技術在軍事和民用領域均有重要價值和廣泛套用。與傳統的光子型紅外探測器不同，基於MEMS（微電子機械系統）技術的室溫紅外探測器無需昂貴、龐大的製冷裝置，是紅外探測與成像發展中的一次變革。.本課題面向紅外探測的SOC（片上系統）集成，提出以聚醯亞胺代替矽表面懸浮結構作為絕熱層，以高靈敏度的非晶矽薄膜電阻或TFT（薄膜電晶體）作為紅外輻射敏感單元，製造集成室溫紅外探測器及其陣列，並研究其中存在的相關科學問題和基礎技術。.課題方案結合了非晶矽器件具有較高的溫度係數和聚醯亞胺薄膜具有很低的熱導率的特點，不需三維加工工藝，並在獲得高探測率的同時，避免了已有技術中的懸浮結構帶來的各種問題。兩種功能薄膜的澱積溫度都很低，且所涉及的工藝與標準IC(積體電路)工藝良好兼容，可在完成標準的IC工藝後，在其上製作焦平面紅外成像陣列，為實現大陣列紅外焦平面的SOC集成提供了新思路。
