非矽微納製造工業和信息化部重點實驗室於2016年批准設立，依託北京理工大學機械工程、光學工程兩個國家一級重點學科和精密微納製造國防緊缺學科、光機電微納米製造北京市交叉二級學科，具有多學科交叉融合的特色和優勢。開拓了雷射微納製造理論與套用、微納裝配與檢測技術、微系統設計、製造與集成、微納器件製造、納米材料製備及性能調控等優勢研究方向。
非矽微納製造工業和信息化部重點實驗室已形成了一支20名教授、17名副教授、9名講師組成的長期穩定合作的研究隊伍。其中包括1名院士、1名萬人計畫首批領軍、2名長江學者、2名傑青、3名973首席、1名青年973首席、2名Science第一作者、1名青年拔尖人才、1名基金委優青、1名青年千人、8名新世紀優秀人才。在非矽微納製造基礎理論和套用技術領域取得了大量開創性成果，建立的等離子量子模型，預測了雷射微納製造中的若干反常物理現象；改進了著名的雙溫度方程，解決了10餘年來一直未能突破的難題；提出的基於電子動態調控（Electron Dynamics Control, EDC）的雷射微納製造實現加工效率提高數十倍和高質量大深徑比微孔加工。
非矽微納製造工業和信息化部重點實驗室獲得科技部973項目（1項）和課題（3項）、國防973項目（2項）、基金委重大研究計畫集成項目（1項）、國家重大科技專項（3項）、國家傑出青年科學基金（2項）、國家優秀青年科學基金（1項）、國家自然科學基金重點項目（2項）、科技部863課題（3項）、國防重點型號研製（7項）、國防重點預研（5項）、國家自然科學基金項目（26項）、省部級項目（31項）等，近三年研究經費超過1億元。在Advanced Materials、Nano Letters、Applied Physics Letters、Optics Letters、Optics Express、J. Am. Chem. Soc等國際高水平期刊上發表了一系列研究成果，近3年，共發表論文300餘篇，其中影響因子8以上論文46篇。獲得SCI他引11,000餘次。重點實驗室在主流國際會議做主題/特邀報告96次。科研用房面積3565平方米、儀器設備總計141台（套），具備較完善的加工、檢測和分析實驗條件，總價值6779.2萬元。
