非平衡磁控濺射鍍膜系統是一種用於材料科學、機械工程領域的工藝試驗儀器,於2014年04月22日啟用。
基本介紹
- 中文名:非平衡磁控濺射鍍膜系統
- 產地:英國
- 學科領域:材料科學、機械工程
- 啟用日期:2014年04月22日
- 所屬類別:工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備
非平衡磁控濺射鍍膜系統是一種用於材料科學、機械工程領域的工藝試驗儀器,於2014年04月22日啟用。
非平衡磁控濺射鍍膜系統是一種用於材料科學、機械工程領域的工藝試驗儀器,於2014年04月22日啟用。技術指標該設備的新型閉合場非平衡磁控濺射系統的離子流是傳統磁控濺射離子流的100倍,是該公司早期的非平衡磁控濺射離子流的...
非平衡磁控濺射技術,即讓磁控陰極外磁極磁通大於內磁極,兩極磁力線在靶面不完全閉合,部分磁力線可沿靶的邊緣延伸到基片區域,從而部分電子可以沿著磁力線擴展到基片,增加基片區域的電漿密度和氣體電離率。不管平衡還是非平衡,若磁鐵靜止...
平衡磁控濺射 平衡磁控濺射即傳統的磁控濺射,是在陰極靶材背後放置芯部與外環磁場強度相等或相近的永磁體或電磁線圈,在靶材表面形成與電場方向垂直的磁場。沉積室充入一定量的工作氣體,通常為Ar,在高壓作用下Ar原了電離成為Ar+離子和...
《非平衡磁控濺射ICP增強電離會切磁場約束沉積技術》是依託大連理工大學,由任春生擔任項目負責人的面上項目。項目摘要 採用非平衡磁控濺射點會切磁場約束的ICP增強電離技術,形成高沉積率高電離度的沉積系統;研究會切磁場與濺射源磁場交聯...
系統地闡述了真空鍍膜技術的基本慨念和基礎理論、各種薄膜製備技術、設備及工藝、真空卷繞鍍膜技術、ITO導電玻璃真空鍍膜工藝,尤其重點介紹了一些近年來新出現的鍍膜方法與技術,如反應磁控濺射鍍膜技術、中頻磁控濺射鍍膜和非平衡磁控濺射鍍膜...
非平衡磁控濺射高強度儀 非平衡磁控濺射高強度儀是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器,於2011年11月11日啟用。技術指標 可鍍薄膜尺寸60mm。主要功能 金屬表面鍍膜。
四、實驗系列磁控濺射鍍膜機 技術指標:真空室:φ450×400 極限壓力:5×10-5Pa 工作壓力:1~1.0× 10-2Pa 真空系統主泵:渦輪分子泵 陰極靶數量:2~5個 工作氣體控制:質量流量控制器,自動壓強控制儀 工作氣路:2路或4路...