污水臭氧消毒工藝設計，包括預處理工藝設計、臭氧消毒接觸系統設計及臭氧發生器及配套設備的選擇等。預處理工藝指在臭氧消毒之前對污水進行的一級處理或二級處理過程。
系統設備管道防腐處理
臭氧氣體具有很強的腐蝕性，在潮濕情況下腐蝕性最強。因此，臭氧發生設備‘輸送臭氧的管道’閥門及接觸反應設備均採取防腐措施。如使用碳鋼材料必須塗防腐塗層。最好使用不鏽鋼管，玻璃鋼管，ABS、PVC、PP-R塑膠管等。接觸池在使用鋼筋混凝土材料時應加防腐塗層。一般橡膠不耐臭氧氧化，所以臭氧發生設備間的電線，電纜等均不能使用橡膠包裹的電線，應使用塑膠電線。
設定通風排氣設備
臭氧具有毒性，空氣中臭氧濃度達到0.1mg/m3時就對人的眼睛、鼻、喉及呼吸道產生刺激作用在0.01-0.02mg/m3時可聞到臭味;因此在臭氧設備間應設定通風設備，萬一發生泄漏可及時排出臭氧。臭氧比空氣重，通風機應安裝在靠近地面處。
臭氧輸送管道及臭氧設備必須密閉，防止泄漏
在設備運行之前應檢查是否漏氣，運行中一旦發生泄漏應立即關掉臭氧發生器電源，打開排風扇排出臭氧，再進行檢修。
高效臭氧發生器為高壓放電設備，應設定接地裝置，接地電阻應小於4歐姆。操作應嚴格按照設備使用說明書及有關電器使用要求進行。
必須設定尾氣處理或尾氣回收裝置，反應後排出的臭氧尾氣必須經過分解破壞或回收利用，達到排放標準，否則將污染大氣。
採用臭氧消毒的污水，預處理是十分重要的，往往由於預處理程度不夠而影響臭氧消毒的效果，污水處理程度要經過技術經濟比較確定。污水消毒最好是經過二級處理後再用臭氧消毒，這樣可以減少臭氧的投加量，降低設備投資費用和運行費用。
