電漿噴射沉積法是將離子噴射的鎢電極(陰極)和銅電極(陽極)進行水冷卻,當Ar/He載氣挾帶苯蒸氣通過電漿炬後,會在陽極的表面上沉積出含有納米級碳材料的碳灰。納米材料是指在三維空間中至少有一維處於納米尺寸(0.1-100nm)或由它們作為基本單元構成的材料,這大約相當於10~100個原子緊密排列在一起的尺度。
納米材料具有一定的獨特性,當物質尺度小到一定程度時,則必須改用量子力學取代傳統力學的觀點來描述它的行為,當粉末粒子尺寸由10微米降至10納米時,其粒徑雖改變為1000倍,但換算成體積時則將有10的9次方倍之巨,所以二者行為上將產生明顯的差異。納米粒子異於大塊物質的理由是在其表面積相對增大,也就是超微粒子的表面布滿了階梯狀結構。