電容耦合微波電漿（焰炬）

定義

電容耦合微波電漿(焰炬)capaciti}cly coupled trii- }rnwa}e plasma 波為輻射頻率， ( torch ) E-大於〕1f1MI-}z(一般為24}n:'v1H} )微 功率在數百瓦到數千瓦的一種電容藕合等離 子體光源。由磁控管產生微波，通過同軸波導管傳輸到一根 同軸電極上，在電極尖端生成電漿(焰炬)。它可在大氣 壓下放電點燃二試樣霧化後隨載氣進人電漿激發發光。