《電容式射頻輝光放電的電極鞘層結構與電子加熱模式》是依託汕頭大學，由林揆訓擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：電容式射頻輝光放電的電極鞘層結構與電子加熱模式
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：林揆訓
- 依託單位：汕頭大學
- 批准號：19875033
- 申請代碼：A2907
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：1999-01-01 至 2001-12-31
- 支持經費：13（萬元）
項目摘要
綜合測試矽烷射頻輝光放電電漿中矽氫基團、電子密度和能量分布函式的空間分布，研究電極的鞘層結構和電子加熱模式及其變化對矽烷電漿空間反應過程和薄膜沉積過程的影響。建立薄膜的沉積機理的模型，最佳化製備優質非晶矽薄膜的工藝流程。為電容式射頻光放電電漿化學氣相沉積系統的設計提供可靠的數據和堅實的實驗基礎..
