《電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材》是2015年10月1日實施的行業標準。
基本介紹
- 中文名:電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材
- 標準號:YS/T 1025-2015
- 技術歸口:全國有色金屬標準化技術委員會
- 發布日期:2015-04-30
- 批准發布部門:工業和信息化部
- 實施日期:2015-10-01
適用範圍,起草單位,起草人,
本標準適用於電子薄膜狼章灶用高純鎢及鎢合金濺射靶材,以格匙贈下簡稱高純鎢及鎢合金靶。
寧波采腳江豐電子材料股份頁諒循有限公司、有研億金新材料有限公司、北京天龍鎢鉬科墊熱驗技股份有限公司等。
姚力驗葛戒囑軍、王學澤、宙府提仔丁照崇等。