電子薄膜用高純鈦濺射靶材

《電子薄膜用高純鈦濺射靶材》是2014年3月1日實施的一項行業標準。

基本介紹

• 中文名：電子薄膜用高純鈦濺射靶材
• 標準號：YS/T 893-2013
• 發布日期：2013-10-17
• 實施日期：2014-03-01
• 技術歸口：全國有色金屬標準化技術委員會
• 批准發布部門：工業和信息化部

起草單位

有研億金新材料股份有限公司、寧波江豐電子材料有限公司。

起草人

何金江、董亭義等。