電子級過氧化氫

電子級過氧化氫是大規模積體電路生產工藝中所必需的電子化工原料。採用工業過氧化氫產品為原料，經三塔連續樹脂吸附工藝生產電子級過氧化氫。該工藝流程簡單、操作容易、生產條件溫和、無污染、成本低，產品純度可達到半導體設備與材料國際制訂標準SEMIC19-90標準和SEMIC75-93標準的電子級過氧化氫產品，達到國內領先水平和國際同類先進技術水平。該樹脂不是一般普通的交換樹脂，必須具有抗氧化性，另外通過負壓精餾也可以生產出電子級的雙氧水，但後者成本較高，能耗較高。