電子級磷烷

電子級磷烷無色，易燃，劇毒氣體，有腐魚氣味。

介紹

相對密度i.18},液體密度液體 密度b23kglm3[0}),a8lkglm3(15}')。熔點一133 C'。沸點 一87.7C',。自燃溫度3?.SC磷烷在室溫下穩定，在約 375'7`開始分解，在約6}(1℃完全分解。它與氧、氯、氟和一氧 化氮等氧化刺反應激烈。TL}'(1.3 X ll1 }[0.4mglm}):可採用亞磷酸熱分解法製備粗磷烷，經十燥，吸附純化一磷烷一般川作17型半導體的摻雜劑，它是化學汽相澱積和離子注人的一種磷源;川一用於製造非品矽太陽電池、磷矽玻璃鈍化膜、發光二極體的磷砷化稼膜。