電子級四氟化碳

電子級四氟化碳，別名四氟甲烷。無色，不可燃氣體，是最穩定的有機化 合物之一。

基本介紹

• 中文名：電子級四氟化碳
• 其他名：四氟甲烷
• 學科：化工
• 特性：無色，不可燃氣體

定義

與可燃性氣體燃燒時，會分解產生有毒的氟化物。液體密度1613k} 1n;(一13U`}')二沸點128飛'熔點 一1 }4C.。其製法是採用活性炭直接氟化上藝，反應產品經塗 塵，鹼洗，脫水、情餾，可製取純度為99.99%的四氟化碳。它 是微電了工_業中用量最大的等離子刻蝕氣體。J’一泛用於矽、 了氧化奮、氮化磚、磷矽玻璃及鎢等薄膜材料的刻蝕;在電子 器件表面清洗、太陽能電池生產、雷射技術、低溫製冷劑、氣體 絕緣等方面也人量套用。